20世紀中期, 蘇聯(lián)拉扎林科夫婦研究開關(guān)觸點受火花放電腐蝕損壞的現(xiàn)象和原因時，發(fā)現(xiàn)電火花的瞬時高溫可以使局部的金屬熔化﹑氧化而被腐蝕掉，從而開創(chuàng)和發(fā)明了電火花加工方法, 線切割放電機也于1960年發(fā)明于蘇聯(lián)。當時以投影器觀看輪廓面前后左右手動進給工作臺面加工，其實認為加工速度雖慢，卻可加工傳統(tǒng)機械不易加工的微細形狀。代表的實用例子是化織噴嘴的異形孔加工。當時使用之加工液用礦物質(zhì)性油(燈油)。絕緣性高，極間距離小，加工速度低于現(xiàn)在械械，實用性受限。

 
        將之NC化，在脫離子水(接近蒸餾水)中加工的機種首先由瑞士放電加工機械制造廠在1969年巴黎工作母機展覽會中展出，改進加工速度，確立無人運轉(zhuǎn)狀況的安全性。但NC紙帶的制成卻很費事，若不用大型計算機自動程序設(shè)計，對使用者是很大的負擔(dān)。在廉價的自動程序設(shè)計裝置(Automatic Programed Tools APT)出現(xiàn)前，普及甚緩。日本制造廠開發(fā)用小型計算機自動程序設(shè)計的線切割放電加工機廉價，加速普及。線切割放電加工的加工形狀為二次元輪廓。自動程序裝置廣用簡易形APT(APT語言比正式機型容易)，簡易形APT的出現(xiàn)為線切割放電機發(fā)展的重要因素