中走絲線切割加工中同內圓切開技能相比有其顯著的缺點，一是片厚平均誤差較大（約為內圓切開技能2倍）。二是切開進程中智能檢測控制不易完成。三是切開進程的成功率要求較高，風險大，一但斷絲而不行搶救時，直接糟蹋一根單晶棒。四是不能完成單片質量控制，一次切開完成后，才干檢測一批圓片的切開質量，并且圓片之間切開質量也不相同。
在這些方面，電火花線切開內圓切開技能卻顯示出其優(yōu)越性來。具體表現(xiàn)在：
a、自動、單片方式切換操作方便性。、
b、小批量多標準加工時靈活的加工可調性。
c、切片精度高，切片成本低，同標準級的內圓切片機價格為線切開機價格1/3～1/4，線切開機還需裝備專用粘料機，每片都可調整。
d、低成本的輔料（線切開機磨料及磨料液要守時更換）。
e、不同片厚所需較小的調整時刻，不同棒徑所需較小的調整時刻。f、修刀、裝刀方便。八十年代中后期人們普遍認為：隨著硅晶片大片徑化開展，線切開技能是硅片切開的干流技能，在規(guī)模化晶圓片切開中將替代內圓切開技能。因而人們加大了對200mm以上線切開機的研究，以處理其技能不足。
中走絲線切割機床預查驗的意圖是為了查看、驗證機床能否滿足用戶的加工質量及生產率，查看供貨商提供的資料、備件。其首要作業(yè)包含：
（1）查驗機床首要零部件是否按合同要求制造。
（2）各機床參數是否到達合同要求。
（3）查驗機床幾許精度及位置精度是否合格。
（4）機床各動作是否正確。
（5）對合同未要求部分查驗，如發(fā)現(xiàn)不滿意處可向生產廠家提出，以便及時改善。
（6）對試件進行加工，查看是否到達精度要求。
（7）做好預查驗記錄，包含精度查驗及要求改善之處，并由生產廠家簽字。
